
磁场探针台的分类方式多样,不同维度的分类依据对应着不同的设备定位和适用场景。
从磁场产生方式来划分,可分为电磁铁型和永磁体型,电磁铁型依靠电流线圈生成磁场,磁场强度可调范围大,通常能覆盖0-2T区间,需要配套专用电源和冷却系统,更适配科研场景下多变的实验需求;永磁体型采用钕铁硼等永磁材料提供磁场,磁场状态稳定且无需持续供电,但磁场调节的灵活性相对较差,更适合产线端的快速标准化检测。
从磁场维度来划分,可分为一维面内磁场探针台、二维磁场探针台和三维矢量磁场探针台,一维款仅能提供单一方向的磁场,适合基础的单向磁场测量场景,三维款可实现多方向磁场的独立调控,能够模拟复杂的电磁环境,满足各向异性材料的多维度磁特性研究需求。
从配套环境与功能属性来划分,可分为常温磁场探针台、低温磁场探针台、真空磁场探针台以及高频磁场探针台,这类分类的依据是设备集成的附加环境模块,低温款可实现7K甚至更低的极低温环境,真空款能提供高真空测试腔体,高频款适配同轴探针与屏蔽结构,可大幅降低高频信号的传输损耗,满足微波、THz频段的磁电同步测试需求。
从自动化操作程度来划分,可分为手动磁场探针台、半自动磁场探针台和全自动磁场探针台,分类依据是样品台与探针的操控自动化水平,手动款依靠人工完成探针对位,成本较低适合小批量科研验证,全自动款可实现晶圆级的自动扫查测试,大幅提升量产环节的测试效率。

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