闪耀光栅也称为小阶梯光栅(echelette grating)，是一种特殊形式的反射式或透射式衍射光栅，能够在特定衍射级次产生大光栅效率。也就是说，大部分光功率将会在设计的衍射级次，同时尽量减少其它级次(尤其是零级)的功率。由于这种设计特性，闪耀光栅会在某一特定波长下工作，这种波长也称为闪耀波长。
效率:
刻划光栅一般比全息光栅的。全息光栅往往效率较低，但是有效波长范围较宽。在荧光激发和其它辐射诱导反应等应用中，可能需要刻划光栅的效率。
平面反射衍射光栅的制造精度直接影响到其性能，因此在制造过程中需要进行严格的精度控制和检测。制造精度主要包括刻槽间距精度、刻槽深度精度、刻槽形状精度和反射膜层的均匀性等。
刻槽间距精度是衡量光栅质量的重要指标之一，通常要求刻槽间距的误差在10纳米以内。为了保证刻槽间距精度，刻划机需要配备的定位系统和运动控制系统，如使用光栅尺进行位置反馈控制。同时，在刻划过程中需要实时监测刻槽间距，及时调整刻划参数。
刻槽深度和形状精度也会影响光栅的衍射效率和色散特性。刻槽深度的误差通常要求在几纳米以内，刻槽形状的误差需要控制在一定范围内，以保证闪耀效应的实现。反射膜层的均匀性直接影响到光栅的反射率和衍射效率，需要通过精密的镀膜设备和工艺控制来保证。
