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日本産業規格

JIS

H 0615:1996

フォトルミネッセンスによる

シリコン結晶中の不純物濃度測定方法

正 誤 票

区分

本体

6.2 図5

(スペクトルに

付記された左か

ら2番目の記

号)

平成18年4月3日作成