2019年7月1日の法改正により名称が変わりました。まえがきを除き，本規格中の「日本工業規格」を「日本産業規格」に読み替えてください。
Z 8126-1 : 1999
まえがき
この規格は，工業標準化法に基づいて，日本工業標準調査会の審議を経て，通商産業大臣が制定した日
本工業規格である。これによって，JIS Z 8126 : 1990は廃止され，このJIS Z 8126群に置き換えられる。
今回の制定によって，JIS Z 8126群は，ISO 3529 (Vacuum technology−Vocabulary) の各部に一致した規
格となる。
JIS Z 8126群は，規格の名称の前付け及び主題を“真空技術−用語”とし，次の各部からなる。
第1部：一般用語
第2部：真空ポンプ及び関連用語
第3部：真空計及び関連用語
JIS Z 8126-1には，次に示す附属書がある。
附属書A（規定） 圧力の単位（従来単位とSI単位との比較）
附属書B（規定） 真空工学に関係のある量記号
(1)
2019年7月1日の法改正により名称が変わりました。まえがきを除き，本規格中の「日本工業規格」を「日本産業規格」に読み替えてください。
日本工業規格
JIS
Z 8126-1 : 1999
真空技術−用語−
第1部：一般用語
Vacuum technology−Vocabulary−
Part 1 : General terms
序文 この規格は，1981年に第1版として発行されたISO 3529-1, Vacuum technology−Vocabulary−Part 1 :
General termsを翻訳し，技術的内容を変更することなく作成した日本工業規格であるが，対応国際規格に
規定されていない用語を日本工業規格として追加している。
なお，この規格で点線の下線を施してある部分は原国際規格にはない事項である。
1. 適用範囲 この規格は，真空技術・真空工業に関する主な真空計及び関連用語について規定する。
備考 この規格の対応国際規格を，次に示す。
ISO 3529-1 : 1981 Vacuum technology−Vocabulary−Part 1 : General terms
2. 用語及び定義 用語，定義及び対応する外国語は，次のとおりとする。
なお，対応する外国語のうち，独語はISO 3529-1で公用語である英語・仏語と同等としているが，ISO
の用語とみなしてはいない。
番号
用語
標準環境状態
定義
対応する外国語
温度20℃，相対湿度65%で，乾燥空気の （英）standard ambient conditions
圧力が大気圧 (101 325Pa) の状態。
（独）Normalklima (n)
（仏）conditions normales ambiantes
気体の標準状態 気体論における気体の標準状態を与える （英）standard reference conditions for gases
もので，温度0℃，圧力101325Pa（1標準 （独）Normzustand (m) für Gase
気圧）の状態。
（仏）conditions normales de référence pour les gaz
真空
通常の大気圧より低い圧力の気体で満た
（英）vacuum
された空間の状態。
（独）Vakuum (n)
備考1. 圧力そのものをいうのでは （仏）vide (m)
ない。
2. 真空の領域は習慣的に2.1.1.1
〜2.1.1.4に示す圧力間隔で区
分する。
低（粗い）真空 圧力100kPa〜100Pa (105〜102Pa) の真空。
（英）low (rough) vacuum
（独）Grobvakuum (n) (GV)
（仏）vide grossier
圧力100Pa〜0.1Pa (102〜10−1Pa) の真空。
中真空
（英）medium vacuum
（独）Feinvakuum (n) (FV)
（仏）vide moyen
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Z 8126-1 : 1999
番号
用語
高真空 (HV)
定義
対応する外国語
圧力0.1Pa〜10μPa (10−1〜10−5Pa) の真空。 （英）high vacuum (HV)
（独）Hochvakuum (n) (HV)
（仏）vide poussé
圧力10μPa (10−5 Pa) 以下の真空。
（英）ultra-high vacuum (UHV)
参考 圧力1nPa (10−9 Pa) 以下の真空
（独）Ultrahochvakuum (n) (UHV)
を極高真空 (XHV) と呼ぶこと （仏）ultra-vide
もある。
a) 境界面上の気体について：実際の表面 （英）pressure
上のある面積に，気体によって作用さ
（独）Druck (m)
れる力の垂直成分をその面積の逆数
（仏）pression (f)
で乗じたもの（気体の流れが存在する
ときは，その質量流量ベクトルに対し
て面の方向を規定する。）。
b) 空間内のある点を含む仮想の微小平
面を両側の方向から通過する分子に
よって，単位面積当たり，単位時間に
輸送される運動量の面に垂直な成分
の総和。空間内に定常的な気体の流れ
があるときは，流れの方向に対して面
の傾きを規定する。
（量記号：p，単位記号：Pa）
備考 “圧力”という用語は単独に用
いられるときは，静止している
気体中の圧力及び定常状態で
流れている気体の静圧を意味
している。
超高真空
圧力
パスカル
国際単位系の圧力単位の名称。
（英）pascal
（単位記号：Pa） 1Pa＝1 N･m−2
（独）Pascal (n)
備考 他の圧力の諸単位については， （仏）pascal (m)
附属書Aを参照されたい。ただ
し，これらの単位は，可能な限
り使用を避けるべきである。
分圧
全圧
気体
非凝縮性気体
蒸気
混合気体中の特定成分の圧力。
（英）partial pressure
（量記号：成分iに対してpi,単位記号：Pa） （独）Partialdruck (m)
（仏）pression partielle (f)
混合気体中の全成分の分圧の総和。
（英）total pressure
（量記号：p，単位記号：Pa）
（独）Totaldruck (m)
（仏）pression totale (f)
見掛け上，分子が分子間力によって運動の
（英）gas
制限を受けないで空間を自由に満たせる
（独）Gas (n)
状態にある物質。
（仏）gaz (m)
備考 真空技術・真空工業では“気体”
という用語は非凝縮性気体及
び蒸気の両方を表している。
温度がその物質の臨界温度以上になって
（英）non-condensable gas
いて，圧力の増加だけでは凝縮相に変化さ
（独）Gas (n)
せることができない気体。
（仏）gaz non condensable (m)
温度がその物質の臨界温度以下になって
（英）vapour; （米）vapor
いて，圧力の増加だけで凝縮相に変化させ
（独）Dampf (m)
ることができる気体。
（仏）vapeur (f)
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Z 8126-1 : 1999
番号
用語
飽和蒸気圧
飽和度
定義
対応する外国語
その温度で凝縮相と熱力学的平衡に達し
（英）saturation vapour pressure
ている蒸気が示す圧力。
（独）Sättigungsdampfdruck (m)
（量記号：pL，単位：Pa）
（仏）pression de vapeur saturante (f)
ある温度における蒸気の圧力とその飽和
（英）degree of saturation
蒸気圧との比。
（独）Sättigungsgrad (m)
（仏）degré (m) de saturation
飽和蒸気
ある温度において飽和蒸気圧に等しい圧
（英）saturated vapour
力を示す蒸気。
（独）gesättigter Dampf (m)
備考 蒸気は，対象とする物質の凝縮 （仏）vapeur saturante (f)
相と熱力学的に平衡状態にあ
るときには，いつも飽和状態に
ある。
不飽和蒸気
ある温度において飽和蒸気圧より低い圧
（英）unsaturated vapour
力を示す蒸気。
（独）ungesättigter Dampf (m)
（仏）vapeur séche (f)
気体分子密度
気体の中の特定の点において，またある瞬
（英）number density of molecules
間において，その特定の点を囲む適当に選
（独）volumenbezogene Teilchenanzahl (f) ;
択された体積の中に，ある時間tにおいて Teilchenanzahldichte (f)
含まれる分子の数を，その体積の逆数で乗
（仏）nombre volumique de molécules (m)
じたもの。
（量記号：n，単位：m−3）
特定の成分の分
混合気体において：ある時間(1)tにおいて，
（英）concentration of molecules of a given
子の密度
特定の点を囲むある体積に含まれる特定
の気体成分の分子密度。
（独）Teilchenanzahldichte einer
（特定の気体成分をBとすると，量記号： Komponente in einem Gasgemisch (f)
nB，単位：m−3）
（仏）concentration moléculaire d'um constituant
注(1) “時間”という言葉は，簡略化
するために用いるものである。
より正確には，適切な統計的平
均が得られるように，時刻tを
中心とした短い時間間隔⊿tに
おける時間平均がとられる。
単位質量密度
気体の質量密度をその圧力で除したもの。 （英）unitary mass density
（量記号：Du，単位：kg・m−3・Pa−1）
（独）druckbezogene Massendichte (f)
（仏）masse volumique unitaire (f)
平均自由行程
気体（一般には粒子の集合系）の中を自由に
（英）mean free path
動き回る粒子（分子・原子・電子・イオン・
（独）mittlere freie Weglänge (f)
中性子など）が同種又は異種の粒子と次々に
（仏）libre parcours moyen (m)
衝突する場合，相続く衝突間に粒子が飛行し
た距離の平均。
（量記号：λ，l，単位：m）
備考 平均をとると当たっては，統計
的に意味のある値が得られる
ように，十分大きな数の分子数
を取り，また十分長い時間に対
して平均を取るものとする。
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Z 8126-1 : 1999
番号
用語
衝突頻度
定義
対応する外国語
気体（一般には粒子の集合系）の中を自由
（英）Collision rate
に動き回る粒子が単位時間に受ける衝突
（独）Stoßrate (f)
の平均回数。
（仏）taux de collision (m)
（量記号：ψ，単位：s−1）
備考 衝突に関与する粒子の種類を
指定することがある。また，こ
の平均衝突回数は，統計的に意
味のある値を得るために，十分
大きい数の分子に対し，また十
分長い時間間隔に対して，平均
化するものとする。
体積衝突頻度
気体（一般には粒子の集合系）の中で起こ
（英）volume collision rate
る粒子間衝突の単位時間，単位体積当たり
（独）volumenbezogene Stoßrate (f) ;
の平均回数。
（量記号：x，単位：m−3･s−1）
（仏）taux volumique de collision (m)
備考 1個の粒子に関する量ではな
い。
気体の量，pV値 気体の体積と圧力の積。このように定義さ （英）quantity of gas
れたこの物理量は気体の質量をその単位
（独）pV-Wert (m)
質量密度の逆数で乗じた値に等しい。
（仏）quantité énergétique de gaz (f)
（量記号：G，単位：Pa･m3）
備考 この積の値は常温 (20℃) にお
ける値に換算するか，又は気体
の温度を示す必要がある。ま
た，この量は，気体が占める体
積における気体の内部エネル
ギーの3分の2に等しい。
拡散
拡散係数
気体が媒質中における濃度こう配によっ
（英）diffusion of gas
て移動する現象。
（独）Gasdiffusion (f)
備考 媒質は，他の気体（この場合を （仏）diffusion d'un gaz (f)
相互拡散という。）又は凝縮相
である。
拡散の分子流量密度を密度のこう配で除
（英）diffusion coefficient ; diffusivity
した値。
（独）Diffusionkoeffizient (m)
（量記号：D，単位：m2･s−1）
（仏）coefficient de diffusion (m)
粘性流
気体分子の平均自由行程が導管断面の寸
（英）viscous flow
法よりも十分に小さい場合に起こる導管
（独）viskose Strömung (f)
内の気体の流れ。
（仏）écoulement visqueux (m)
備考 流れは気体の粘性に依存し，層
流又は乱流となる。
ポアズイユの流 円形断面の長い導管を通る粘性層流（レイ
（英）Poiseuille flow
れ
ノルズ数が小さい場合）。
（独）Poiseuille Strömung (f)
（仏）écoulement de Poiseuille (m)
レイノルズ数
流れの特性を表す無次元量の一つであっ
（英）Reynolds number
て，流れを特徴づける代表的な長さ（例え
（独）Reynoldssche Zahl (f)
ば，管の直径），流れの速度，気体の密度，
（仏）nombre de Reynolds (m)
気体の粘度の関数。
（量記号：Re）
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Z 8126-1 : 1999
番号
用語
定義
対応する外国語
分子流
気体分子の平均自由行程が，導管断面の最
（英）molecular flow
大寸法よりも十分に大きい場合（クヌーセ
（独）Molekularströmung (f)
ン数が大きい場合）の導管内の気体の流
（仏）écoulement moléculaire (m)
れ。
クヌーセン数
流れの特性を表す無次元量の一つであっ
（英）Knudsen number
て，流れを特徴づける代表的な長さ（例え
（独）Knudsen-Zahl (f)
ば，管の直径）に対する分子の平均自由行
（仏）nombre de Knudsen (m)
程の比。
（量記号：Kn）
中間流
分子の噴き出
し，分子噴流
遷移
粘性層流と分子流の中間の条件下にある
（英）intermediate flow
導管内の気体の流れ。
（独）Knudsen-Strömung (f)
（仏）écoulement intermédiaire (m)
厚さを無視できるオリフィスにおいて，気
（英）molecular effusion ; effusive flow
体分子の平均自由行程が，オリフィス開口
（独）Molekulareffusion (f)
の最大寸法より十分に大きい場合の気体
（仏）effusion moléculaire (f)
の流れ。
多くの穴があいている（ポーラス状態の）
（英）transpiration
固体の中を気体の圧力差によって通過す
（独）Transporisation (f) ;
る流れ。
（仏）transporisation (f)
熱遷移，
温度が異なる二つの容器が導管で結ばれ
（英）thermal transpiration
サーマルトラン ている場合に，分子流領域において圧力差
（独）thermische Effusion (f)
スピレーション を生じる現象。
（仏）effusion thermique (f)
分子流量，
空間内のある面を単位時間に通過する気
（英）molecule flow rate ; molecular flux
分子束
体分子の正味の数。
（独）Teilchendurchfluß (m)
（量記号qN，単位：s−1）
（仏）débit-molécules (m) ; flux de molécules
備考 正味の数とは，ある方向に面を
通過する気体分子の数と反対
方向に通過する気体分子の数
との差。
分子流量密度
単位面積当たりの分子流量。
（単位：m−2･s−1）
体積流量
モル流量
空間内のある面を単位時間に通過する気
（英）Volume flow rate
体の体積。
（独）Volumendurchfluß (m) ;
（量記号：qv，単位：m3･s−1）
（仏）débit-volume (m)
空間内のある面を単位時間に通過する気
（英）molar flow rate
体のモル数。
（独）molarer Durchfluß (m) ;
（量記号：qν，単位：mol･s−1）
（仏）débit-molaire (m)
（英）molecule flow rate density ; density of
（独）Teilchendurchflußdichte (f)
（仏）débit-molécules surfacique (m) ;
（気体の）流量 導管のある断面又はオリフィスを単位時 （英）throughput
間に通過する気体の量（pV値）。
（独）pV−Durchfluß (m) ; Saugleistung (f)
（量記号qG，単位：Pa･m3･s−1）
（仏）flux gazeux (m)
質量流量
空間内のある面を単位時間に通過する気
（英）mass flow rate
体の質量。
（独）Massendurchfluß (m)
（量記号：qm，単位：kg･s−1）
（仏）débit-masse (m)
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Z 8126-1 : 1999
番号
用語
定義
対応する外国語
マックスウェル マックスウェル・ボルツマンの速度分布関
（英）Maxwellian velocity distribution
の速度分布
数に相当する速度分布。またこれはある温
（独）Maxwellsche Geschwindigkeitsverteilung (f)
度において，また壁からの距離が気体分子
（仏）distribution Maxwellienne des vitesses (f)
の平均自由行程に比べてずっと大きい状
態で，熱平衡に達している気体分子の速度
分布。
通過確率，
導管の入口に入射した分子が出口を通過
（英）transmission probability ;
クラウジング係
する確率。
数
（量記号：Pc）
（独）Durchlaufwahrscheinlichkeit (f) ;
（仏）probabilité de passage (f)
分子コンダクタ 分子流量を，オリフィスの両側，導管など
（英）molecule conductance
ンス
の二つの断面における平均気体分子密度
（独）Teilchenströmungsleitwert (m)
の差で除した値。
（仏）conductance-molécules (f)
（量記号：CN，UN，単位：m3･s−1）
コンダクタンス 流量をオリフィスの両側，導管などの二つ （英）conductance
の断面における圧力差で除した値。この場
（独）Strömungsleitwert (m)
合，等温状態を仮定している。
（仏）conductance (f)
（量記号：C，U，単位：m3･s−1）
固有コンダクタ マックスウェルの速度分布が支配的な状
（英）intrinsic conductance
ンス
態にある二つの容器が，導管（又はオリフ
（独）Strömungseigenleitwert (m) ;
ィス）によって接続されているような特殊
な場合におけるコンダクタンス。分子流の
（仏）conductance intrinséque (f)
場合，この値は入口のコンダクタンスと通
過確率との積に等しい。
（量記号：Ci，Ui，単位：m3･s−1）
抵抗
吸収
吸着
物理吸着
化学吸着
コンダクタンスの逆数。
（量記号：w，単位：m−3･s）
（英）resistance
（独）Strömungswiderstand (m)
（仏）résistance (f)
気体又は蒸気分子が固体又は液体の内部
（英）absorption
に取り込まれる現象。
（独）Absorption (f)
備考 この場合の気体又は蒸気分子 （仏）absorption (f)
を吸収質 (absorbate)，固体又は
液体を吸収媒 (absorbent) とい
う。
気体又は蒸気分子が固体又は液体の表面
（英）adsorption
にとどまっている現象。
（独）Adsorption (f)
備考 この場合の気体又は蒸気分子 （仏）adsorption (f)
を吸着質 (adsorbate)，固体又は
液体を吸着媒 (adsorbent) とい
う。
化学結合を伴わない物理的な力による吸
（英）physisorption
着。
（独）Physiosorption (f)
（仏）phisisorption (f)
化学結合を伴う吸着。
（英）chemisorption
（独）Chemisorption (f)
（仏）chimisorption (f)
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Z 8126-1 : 1999
番号
用語
定義
対応する外国語
収着
熱適応係数
入射頻度
入射速度
凝縮速度
凝縮係数
付着速度
付着確率
（平均）滞留時 分子が表面に収着状態で束縛されている
（英）residence time
間，
時間の平均。
（独）Verweildauer (f)
（仏）temps de séjour (m)
（平均）滞在時
（量記号：τ，単位：s）
間
表面移動
表面上における分子の移動。
（英）migration
（独）Oberflächenwanderung (f)
（仏）migration (f)
脱離，
収着されていた気体又は蒸気分子の放出。 （英）desorption
離脱
（独）Desorption (f)
（仏）désorption (f)
気体放出
固体又は液体による気体又は蒸気分子の
（英）sorption
取り込み。吸着及び吸収の二つの現象を含
（独）Sorption (f)
んでいる。
（仏）sorption (f)
備考 この場合の固体又は液体を収
着媒 (sorbent)，気体（又は蒸気）
分子を収着質 (sorbate) とい
う。
入射粒子と表面との間の熱エネルギーの
（英）accommodation factor
授受の程度を表す係数。実際に授受される
（独）Akkommodationswahrscheinlichkeit (f)
平均エネルギーと，入射粒子が表面と熱平
（仏）facteur d'accommodation (m)
衡に達して表面から空間に戻ると仮定し
た場合に授受される平均エネルギーとの
比。
（量記号：α）
表面の単位面積当たりに単位時間に入射
（英）impingement rate
する分子の数。
（独）flächenbezogene Stoßrate (f) ;
（量記号：ν，単位：m−2･s−1）
（仏）taux (surfacique) d'incidence (m)
表面の単位面積当たりに単位時間に入射
（英）impingement rate
する物質の量。
（独）Flächenstoßrate (f)
（仏）taux (surfacique) d'incidence (m)
表面の単位面積当たりに単位時間に凝縮
（英）condensation rate
する分子の数又は物質の量。
（独）flächenbezogene Kondensationsrate (f) ;
（仏）taux (surfacique) de condensation (m)
凝縮速度と入射頻度又は入射速度との比。
（英）condensation coefficient
無次元量である。
（独）Kondensations Koeffizient (m)
（量記号：c）
（仏）facteur de condensation (m)
表面の単位面積当たりに単位時間に化学
（英）sticking rate
吸着される分子の数又は物質の量。
（独）flächenbezogene Haftrate (f)
（仏）taux (surfacique) de collage (m) ;
付着速度と入射頻度又は入射速度との比。
（英）sticking probability
無次元量である。
（独）Haftwahrscheinlichkeit (f)
（量記号：ps）
（仏）probabilité de collage (f) ;
物質からの気体の放出。
（英）outgassing
（独）Gasabgabe (f)
（仏）dégagement de gaz (m)
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Z 8126-1 : 1999
番号
用語
脱ガス
蒸発速度
定義
対応する外国語
人為的な操作による物質からの気体の放出。 （英）degassing
（独）Entgasung (f)
（仏）dégazage (m)
表面の単位面積から単位時間に蒸発する
（英）evaporation rate
分子の数又は物質の量。
（独）flächenbezogene Verdampfungsrate (f) ;
（単位：m−2･s−1，kg mol･m−2･s−1，g･
（仏）taux (surfacique) d'évaporation (m)
気体放出速度，
物質の単位面積から単位時間に放出され
（英）desorption (or outgassing, or degassing) rate
脱離速度，
る気体の量（pV値）又は分子の数。
（独）flächenbezogene Desorptionsrate (f) ;
（量記号：qGU，単位：Pa･m･s−1，m−2･
脱ガス速度
（仏）taux (surfacique) dedésorption (dedégazage)
透過
透過率
透過係数
気体が吸着，溶解，拡散，脱離などに基づ
（英）permeation
いて固体内を通過する現象。
（独）Permeation (f) ; Gasdurchgang (m)
（仏）perméation (f)
固体内を通過する気体の流量を，壁の各々
（英）permeability
の側において存在する圧力の関数である
（独）Gaspermeabilität (f) ;
ような物理量で除した値。この関数の形
は，実際の透過に伴う物理的諸過程に依存
（仏）perméance (f)
する。
（量記号：P）
透過率と障壁の厚さとの積をその面積で
（英）permeability coefficient
除した値。
（独）Koeffizient der Gaspermeabilität (m) ;
（量記号：P）
（仏）coefficient de perméance (m)
2019年7月1日の法改正により名称が変わりました。まえがきを除き，本規格中の「日本工業規格」を「日本産業規格」に読み替えてください。
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附属書A（規定） 圧力の単位（従来単位とSI単位との比較）
標準気圧 (atm)
1atm＝101 325Pa
工学単位 (at)
1at＝1kgf・cm−2＝98 066.5Pa
トル (Torr)
1Torr≒133.322Pa*
バール (bar)
1bar＝105Pa
ダイン毎平方センチメートル (dyn･cm−2)
1dyn･cm−2＝10−1Pa
水銀柱ミリメートル (mmHg)
1mmHg≒133.322Pa*
水柱メートル (mH2O)
1mH2O≒9 806.65Pa*
重量キログラム毎平方センチメートル (kgf･cm−2)
1kgf･cm−2＝98 066.5Pa
barye
1barye＝10−1Pa
水柱フィート (ftH2O)
1ftH2O≒2 989.07Pa*
水柱インチ (inH2O)
1inH2O≒249 089Pa*
水銀柱インチ (inHg)
1inHg≒3 386.39Pa*
ダイン毎平方センチメートル（省略形：dyn・cm−2）
1dyn･cm−2＝10−1Pa
ピーズ (pz)
1pz＝103Pa
ポンド毎平方フィート (pdl・ft−2)
1pdl･ft−2≒1.488 16Pa*
重量ポンド毎平方フィート (lbf・ft−2)
1lbf･ft−2≒47.880 3Pa*
重量ポンド毎平方インチ (lbf・in−2, psi)
1lbf･in−2≒6 894.76Pa*
注*
有効数字6けたに丸めた。
2019年7月1日の法改正により名称が変わりました。まえがきを除き，本規格中の「日本工業規格」を「日本産業規格」に読み替えてください。
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Z 8126-1 : 1999
附属書B（規定） 真空工学に関係のある量記号
量記号
番号
用語
熱適応係数
コンダクタンス
拡散係数
平均自由行程
気体分子密度
圧力
飽和蒸気圧
（気体の）流量
気体放出速度
脱離速度
脱ガス速度
質量流量
分子流量
分子束
体積流量
モル流量
入射頻度
付着確率
（平均）滞留時間
（平均）滞在時間
体積衝突頻度
衝突頻度
固有コンダクタン
ス
分子コンダクタン
ス
気体の量，pV値
透過係数
透過率
通過確率，クラウ
ジング係数
抵抗
単位質量密度
凝縮係数
レイノルズ数
クヌーセン数
英語
2019年7月1日の法改正により名称が変わりました。まえがきを除き，本規格中の「日本工業規格」を「日本産業規格」に読み替えてください。
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Z 8126-1 : 1999
JIS Z 8126-1国際整合化委員会 構成表
氏名
（委員長）
（事務局）
平 田 正 紘
大 嶋 清 治
和 田 隆 光
赤 石 憲 也
門 芳 生
金 戸 成
木 村 和 幸
所属
工業技術院電子技術総合研究所
工業技術院標準部
財団法人日本規格協会
核融合科学研究所
株式会社芝浦製作所
株式会社大阪真空機器製作所
大亜真空株式会社
○ 榊 原 正 二
日本酸素株式会社
○ （長 岡 隆 司）
株式会社日立製作所
中 村 静 雄
日本真空技術株式会社
成 田 潔
株式会社島津製作所
橋 爪 寛 行
橋爪技術士事務所
福 山 泰 弘
神港精機株式会社
○ 堀 越 源 一
高エネルギー物理学研究所（名誉教授）
森 本 勝 直
アネルバ株式会社
柳 橋 輝 雄
大亜真空株式会社
（石 川 三 郎）
日本真空協会
小 林 廣 子
日本真空協会
備考 ○印は分科会委員も兼ねる。
