三. SECS/GEM封装库RapidSecs开发手记-SECS/GEM基础知识-1

       此部分主要来自于网络内容的收集整理及自己的一点体会,都是一些SECS/GEM开发的相关知识点,可以帮助博友们有针对性的去学习。

1. FA(Factory Automation)的目的

  • 生产费用减少
    • 通过自动化减少人力
  • 提高生产力
    • 通过中央控制增加产量
    • 减少操作人员的失误
    • 通过对设备状态的把握预测和预防错误
  • 设备管理的最大化
    • 通过检测设备状态计划性的分配设备保养和工作的时

2. 半导体设备通信标准

       通信协议属于 SEMI 标准中的设备自动化/软件标准,包括 SECS-I、HSMS、SECS-II 和 GEM 四个标准。其实还有一个最新国际标准EDA(Interface A) ,但不在本系列文章的探讨范围内。

2.1 标准描述

  • SECS-I
    • 属于传输协议标准,描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的,通 RS-232C 通信来传SECS-II 据的范。
    • SEMI E4 : SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer
  • SECS-II
    • 属于消息格式标准,定义了在设备与主机之间进行双向会话时所使用的消息格式。
    • SEMI E5 : SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content
  • HSMS
    • 属于传输协议标准,描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的,使用的传输媒质是以太网。通以太网来传SECS-II 据的范。
    • SEMI E37 : High-speed SECS Message Services Generic Services
  • GEM
    • 属于设备功能标准,定义了通过通信链路所能看到的设备接口,指定了根据特定的消息设备所应该采取的对应的行为。
    • 义设备驱动准,对设备工作的scenario当时所使用的SECS-II 消息的捆绑。
    • SEMI E30 : Generic Mo
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