2019年7月1日の法改正により名称が変わりました。まえがきを除き,本規格中の「日本工業規格」を「日本産業規格」に読み替えてください。

B 7184 : 1999

まえがき

この規格は,工業標準化法に基づいて,日本工業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が改正した日

本工業規格である。これによってJIS B 7184 : 1972は改正され,この規格に置き換えられる。

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2019年7月1日の法改正により名称が変わりました。まえがきを除き,本規格中の「日本工業規格」を「日本産業規格」に読み替えてください。

日本工業規格

JIS

B 7184 : 1999

測定投影機

Profile projectors

序文 この規格は,日本工業規格の独自のものであり,対応する国際規格はない。

1. 適用範囲 この規格は,長さ,角度,輪郭などを測定する測定投影機について規定する。測定投影機

は,投影レンズ,スクリーン,照明装置,載物台又は精密十字動テーブル及びこれらを保持する本体から

なる(付図1,付図2,付図3参照)。

2. 引用規格 次に掲げる規格は,この規格に引用されることによって,この規格の規定の一部を構成す

る。これらの引用規格は,その最新版を適用する。

JIS B 7181 映写レンズの解像力試験標板

JIS B 7526 直角定規

JIS B 7536 電気マイクロメータ

JIS B 7541 標準尺

JIS R 6001 研削といし用研磨材の粒度

3. 定義 この規格に用いる主な用語の定義は,次による。

a) X軸 投影面で左右方向に移動する精密十字動テーブルの軸

b) Y軸 投影面でY軸に直交する方向に移動する精密十字動テーブルの軸

c) 測定精度 実際の測定状態において,測定投影機で標準器を測定した際に得られる精度

4. 性能 性能は,表1による。ただし,許容値は,20℃におけるものとする。

5. 表示 測定投影機の本体には,製造業者名又はその略号及び製造番号を,投影レンズには呼び倍率を

表示しなければならない。

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B 7184 : 1999

表1 性能

番号

項目

許容値

μm以下

テーブルのX軸移動方

テーブル上面にテー

付図4 直角定規(JIS B 7526

向とY軸移動方向との ブルのX軸移動方向

に規定されたI形1 ここに,L:テーブル移動量 (mm)

直角度

と平行に直角定規の

級)又はこれと同等 で測定範囲全域について適用す

の性能をもつもの。 る。

使用面を置き,他辺

の使用面に投影レン

電気マイクロメータ

(JIS B 7536に規定

ズ取付部などに固定

した電気マイクロメ

されたもの)又はこ

ータなどを当てて,

れと同等の性能をも

テーブルをY軸方向

つもの。

に移動させたときの

指示の振れの最大値

を求める。

標準尺(JIS B 7541 呼び倍率の±0.15%

投影レンズ

X軸方向 テーブル上面に標準

に規定された01級

の透過照明

尺を置き,その投影

又は1μmの精度で校

像をスクリーン*の

による倍率

精度

測定方法

中心を原点として,

読取り用の標準尺で

Y軸方向

測定して得られた倍

率と呼び倍率との誤

差を百分率で表す。

説明図

測定用具

正されたもの)又は

これと同等の性能を

もつもの。読取り用

標準尺(JIS B 7541

に規定された3級)

又はこれと同等の性

能をもつもの。

投影レンズ

X軸方向 テーブル上面に標準 付図5 標準尺(JIS B 7541 呼び倍率の±0.25%

に規定された01級

の反射照明

尺を置き,その投影

又は1μmの精度で校

像をスクリーン*の

による倍率

精度

中心を原点として,

読取り用の標準尺で

測定して得られた倍

率と呼び倍率との誤

差を百分率で表す。

なお,このとき透過

Y軸方向

照明装置と標準尺と

の間に,標準尺から

20mm離れた位置に

拡散板を置き,拡散

光によって照明を行

う。また,半透過鏡

のあるものは,これ

を付けて測定を行

う。

正されたもの)又は

これに準じる性能を

もつもの。読取り用

標準尺(JIS B 7541

に規定された3級)

又はこれと同等の性

能をもつもの。拡散

板(JIS R 6001によ

る粒度#800の砂を

用いて板ガラスを砂

ずりしたもの)。

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B 7184 : 1999

番号

項目

測定方法

説明図

測定用具

投影レンズの透過照明 テーブル上面に解像

による解像力

力検査用チャートを

(リレーレンズ方式を

置き,スクリーン*

除く)

中心部で最も像が鮮

明になるように焦点

を合わせ,認識でき

る最小の図票の値を

測定値とする。図票

の向きは,条線の一

つの方向が視野の中

心から見て放射方向

になるように定め

る。

投影レンズの反射照明 テーブル上面に解像

付図5 解像力検査用チャー

による解像力

ト(JIS B 7181に規

力検査用チャートを

(リレーレンズ方式を

置き,スクリーン*

定されたもの)又は

除く)

中心部で最も像が鮮

これと同等の性能を

もつもの。

明になるように焦点

拡散板(JIS R 6001

を合わせ,認識でき

による粒度#800の

る最小の図票の値を

測定値とする。図票

砂を用いて板ガラス

を砂ずりしたもの)。

の向きは,条線の一

つの方向が視野の中

心から見て放射方向

になるように定め

る。なお,このとき

透過照明とチャート

との間に,チャート

から20mm離れた位

置に拡散板を置き,

拡散光によって照明

を行う。また,半透

過鏡のあるものは,

これを付けて測定を

行う。

回転スクリーン十字線 テーブル上面に十字

付図6 十字線チャートなど 0.3mm以下

の回転中心に対する同 線などの指標を置

心度

き,回転スクリーン

に投影し,回転スク

リーンを回転させ,

回転中における回転

スクリーン十字線の

変位の量を読み取

る。

解像力検査用チャー

ト(JIS B 7181に規

定されたもの)又は

これと同等の性能を

もつもの。

回転スクリーンの回転 テーブル上面に十字

付図7 30"以下で校正され 4以下

角度の測定精度

た90°の十字線チャ

線チャートを置き,

ート

回転スクリーンに投

影し,回転スクリー

ンでこれの角度を測

定し,その誤差の最

大差を求める。

許容値

単位 本/mm

単位 本/mm

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B 7184 : 1999

番号

項目

許容値

各方向とも

L) μm以下

各軸の測定

X軸方向 テーブル上面中央に 付図8 標準尺(JIS B 7541

精度

測定方法

その移動方向と平行

に標準尺を置き,測

定投影機でこれを測

定しながらテーブル

を送り,その全測定

Y軸方向

範囲について測定投

影機の読みと標準尺

の移動した長さとの

差を求め,任意の2

点間 (L) 内の開き

の最大値を求める。

説明図

測定用具

に規定された01級 ここに,L:測定長 (mm) で測定

又は1μmの精度で校

範囲全域について適用する。

正されたもの)又は

これと同等の性能を

もつもの。

倍率変換による像移動 テーブル上面に十字

十字線チャートなど 物体面上で0.5 mm以下

線などの指標を置

き,その測定投影機

で使用する最高倍率

の投影レンズを用い

てスクリーン中央に

合わせ,次に任意の

投影レンズに変倍又

はズーム動作を行い

指標の移動量を求め

る。

10 スクリーン十字線の角

テーブル上面に十字

付図9 30"以下で校正され 90°±2以下

度精度

た90°の十字線チャ

線チャートを置き,

ート

スクリーンに投影

し,スクリーン十字

線との角度のずれ量

を求める。

注 *透明スクリーンの場合は,適切な透過拡散スクリーンを置く。

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B 7184 : 1999

備考 この図は説明図であり,構造又は形状を示すものではない。

付図1 縦形測定投影機光軸上向き形

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B 7184 : 1999

備考 この図は説明図であり,構造又は形状を示すものではない。

付図2 縦形測定投影機光軸下向き形

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B 7184 : 1999

備考 この図は説明図であり,構造又は形状を示すものではない。

付図3 横形測定投影機光軸横向き形

付図4 直角度の測定

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B 7184 : 1999

付図5 倍率精度及び解像力の測定

付図6 十字線の同心度の測定

付図7 回転角度の測定

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B 7184 : 1999

付図8 各軸の測定精度

付図9 十字線の角度精度の測定

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B 7184 : 1999

JIS B 7184 投影検査器専門委員会 構成表

(委員長)

(事務局)

氏名

岩 崎 茂 雄

紺 野 吉 承

成 島 静 枝

増 山 利 勝

木 下 進

片 桐 正 秀

岡 本 興 宣

沖 田 雪 男

藪 崎 憲 司

大 家 清

海老沢 秀 侑

馬 場 秀 俊

本 間 清

今 城 雅 雄

所属

工業技術院計量研究所量子部

キヤノン株式会社品質標準推進部

セイコー電子工業株式会社品質保証室

ソニー株式会社SPCプロキュアメントセンター

シチズン時計株式会社生産本部生産技術部

オリンパス光学工業株式会社光学機器開発部

神港精機株式会社技術部

株式会社トプコン生産技術部

株式会社トプコン産業機器技術部測定機技術G

株式会社ニコンMS企画室

株式会社ミツトヨ商品開発部

通商産業省機械情報産業局

通商産業省工業技術院標準部

日本光学測定機工業会